產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機(jī)臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內(nèi)；
● 采用高精度A級儀器光學(xué)尺配合精密工作臺，確保機(jī)臺精度在≤2.5+L/200um以內(nèi)；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機(jī)，確保畫質(zhì)清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
● 進(jìn)口接觸式探針和功能強(qiáng)大的iMeasuring3.1三維影像測量軟件，提升品質(zhì)管控到新的臺階；
● 可選FexQMS測量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機(jī)臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內(nèi)；
● 采用高精度A級儀器光學(xué)尺配合精密工作臺，確保機(jī)臺精度在≤2.5+L/200um以內(nèi)；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數(shù)字相機(jī)，確保畫質(zhì)清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
● 進(jìn)口接觸式探針和功能強(qiáng)大的iMeasuring3.1三維影像測量軟件，提升品質(zhì)管控到新的臺階；
● 可選FexQMS測量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。
配置參數(shù)：
| 儀器型號 | iMS-3020P |
| 儀器貨號# | 521-160P |
| 金屬工作臺 | 458x358mm |
| 玻璃工作臺 | 356x248mm |
| X/Y軸行程 | 300x200mm |
| Z軸 | 高精度直線導(dǎo)軌，有效行程200mm |
| X/Y/Z軸分辨率 | 0.0005mm |
| X/Y軸精度 | ≤2.5+L/200(um) |
| 重復(fù)精度 | 2um |
| 底座和立柱 | 高精度濟(jì)南青花崗巖 |
| 照明系統(tǒng)（軟件調(diào)控） | 表面4環(huán)8區(qū)無級可調(diào)LED冷光源，每區(qū)可獨(dú)立調(diào)控 |
| 透射LED平行（面）光源 | |
| LED鐳射導(dǎo)航指示燈 | |
| CCD | 高分辨率7650TVL彩色CCD |
| 變焦物鏡 | 6.5X高分辨率定格定倍變焦物鏡 |
| 光學(xué)放大倍率：0.7X~4.5X倍；視頻放大倍率：26X~172X | |
| 工作環(huán)境 | 溫度：20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr |
| 濕度：30% ~80%RH | |
| 震動<0.002g，低于15Hz | |
| 測量軟件 | iMeasuring 3.1 |
| 操作系統(tǒng) | 支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系統(tǒng) |
| 操作語言 | 英文、簡體中文、繁體中文，可增加其他語言版本 |
| 外形尺寸(WxDxH) | 838x667x1000mm |
| 凈重 | 185Kg |